SMILE平台设备推介：CanonFPA-5000ES3全自动扫描投影光刻机

 

Canon FPA-5000ES3 是一款全自动扫描投影光刻机，光源波长 248nm ，分辨率达 0.18µm。可用于 6、8、12 寸生产线，广泛应用于化合物半导体、MEMS、LED 等领域，具备高分辨率与高精度对准等特性 。

 

1.亚 0.13μm 级分辨率：
结合 KrF 光源与高 NA 物镜，设备可实现 **<0.13μm 的线宽分辨率 **，适用于化合物半导体、MEMS 等对图形精度要求较高的领域。例如，在 LED 制造中，该分辨率可支持更精细的电极结构设计，提升发光效率。
2.多晶圆尺寸兼容性：
支持 6 英寸、8 英寸及 12 英寸晶圆（SEMI 标准），并兼容缺口 / 平面定位，满足不同产线需求。例如，在 MEMS 生产中，6 英寸晶圆的小批量试产与 12 英寸的大规模量产可通过同一设备实现。
3.高吞吐量与稳定性：
8 英寸晶圆吞吐量达 125 片 / 小时，12 英寸为 73 片 / 小时，且聚焦重复性≤60nm（3σ），调平重复性≤4ppm（3σ），确保长时间稳定生产。
4.自动化与智能化：
设备集成自动对焦、调平补偿（最小补偿范围 > 100ppm）和晶圆对准（精度 < 0.025μm）功能，减少人工干预，提升良率。
5.先进工艺支持：
支持多重曝光和相移掩膜技术，可扩展至更小制程节点。例如，在逻辑芯片制造中，通过双重曝光实现 28nm 图形转移。