SMILE平台设备推介：合肥真萍 MD-40 HMDS涂覆机

 

合肥真萍 MD-40 HMDS 涂覆机是专为 MEMS 制造设计的全自动晶圆预处理设备，采用蒸汽涂布技术，通过六甲基二硅氮烷（HMDS）对晶圆表面进行疏水化处理，增强光刻胶附着力，减少显影和刻蚀过程中的图形缺陷。设备支持 2-8 英寸晶圆，集成真空腔室与温控系统，可在 100-200℃范围内实现高效脱水烘烤与 HMDS 均匀涂覆，兼容硅、玻璃、蓝宝石等多种材料，适用于压力传感器、微流体器件等 MEMS 结构的光刻前处理，提升工艺稳定性与良率。

 

1.处理能力：
单次可处理 4 盒晶圆（约 100 片 2 英寸晶圆），支持批量生产。
2.温度控制：
加热范围 RT+10℃至 200℃，控温精度 ±2%，确保 HMDS 反应充分。
3.真空度：
腔体真空度≤150Pa，配合氮气置换，减少水分与杂质干扰。
4.涂覆均匀性：
蒸汽涂布技术实现晶圆全域疏水化，接触角提升至≥90°，黏附性增强。
5.工艺兼容性：
支持多种晶圆尺寸（2/4/6/8 英寸）及材料，兼容 Class 100 洁净环境。
6.环保设计：
全密闭操作，尾气经处理系统排放，降低化学污染风险。
7.自动化：
PLC 控制与触摸屏界面，支持多组工艺配方存储与远程监控。