SMILE平台设备推介：KLA Alpha-Step®D-600台阶仪

 

KLA Alpha-Step®D-600 台阶仪是一款高精度接触式表面轮廓测量设备，专为 MEMS 传感器、半导体器件及纳米材料研发设计。其核心技术包括光学杠杆传感器（垂直分辨率达亚埃级）和多模式测量功能（2D/3D 台阶高度、粗糙度、薄膜应力），可实现纳米级至 1200μm 的台阶高度测量，尤其擅长软性材料（如光刻胶）的低触力检测（0.03-15mg）。设备兼容 4-8 英寸晶圆及碎片样品，适配 MEMS 工艺中薄膜沉积均匀性分析、高深宽比结构（如 TSV）台阶高度验证及应力诱导翘曲量化，支持 SECS/GEM 协议工厂集成，提升量产检测效率。

 

1.测量范围：
台阶高度 0.1nm-1200μm，粗糙度 RMS 0.1nm-100μm，薄膜应力 0.1MPa-1GPa。
2.分辨率：
垂直分辨率≤0.1Å（1σ，1μm 台阶），横向分辨率 0.2-50μm（金刚石探针半径可调）。
3.精度：
台阶高度重复性≤5Å（1σ，1μm 台阶），应力测量精度 ±5%（基于 Stoney 方程）。
4.硬件配置：
500 万像素彩色摄像头（支持 4 倍数字变焦）、200mm 电动样品台（X-Y 行程 150mm×178mm）、防振动隔离系统（支持 VC-D 级环境）。
5.软件功能：
Apex 分析软件支持 ISO/ASME 粗糙度标准、自动校正（梯形失真 / 圆弧运动误差）、多配方存储及三维形貌重建，兼容 SECS/GEM 协议与 MES 系统对接。
6.材料兼容性：
适配光刻胶、金属镀层、聚合物及生物材料，支持晶圆级批量检测（单次 15 片）。
7.安全设计：
Class 100 洁净腔室、颗粒过滤系统（≤0.1μm）及自动探针磨损监测。
（注：部分参数基于 KLA 官方技术文档及行业通用标准整合，具体以设备手册为准。）